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產(chǎn)品簡介：
該pecvd設備是由管式爐真空泵和六通道質(zhì)量流量計氣體流動系統(tǒng)組成的

。它可以混合1-6種氣體用于PECVD或擴散

。

技術參數(shù)：

參數(shù)		KJ-PECVD-LM
第一部分：標準件
管式爐	Display	觸摸屏
	連續(xù)工作溫度.	≤1100℃第一溫區(qū) ≤1100℃第二溫區(qū) ≤1600℃第三溫區(qū)
	升溫速率	建議: 0~10℃/min
	溫區(qū)	220mm+220mm+220mm
	加熱元件	硅碳棒和硅鉬棒
	熱電偶	K型和B型
	溫度控制精度	±1℃
	爐管尺寸	80x1600mm (OD x minimum L) Approx.
	爐管尺寸	材料：氧化鋁管
	溫度控制	通過SCR功率控制的PID自動控制
	傾斜功能	0-15度（不建議在1100C溫度下使用傾斜功能，因為MoSi2加熱元件可能容易損壞。高溫時會變軟，請注意。）
	加熱曲線	30步可編程
	真空法蘭	帶閥門的不銹鋼真空法蘭右側法蘭為滑動式。法蘭應為水冷式。
	電源	220V, 50 Hz, single phase at max. 8KW
等離子射頻	功率范圍	0-300W（連續(xù)可調(diào)）
	控制模式	手動
	工作頻率	13.56MHz
	報警保護	直流過載保護、直流/放大器過熱保護、反射功率保護、匹配超時保護
	射頻輸出阻抗接口（50Ω）	N型，內(nèi)螺紋
	功率穩(wěn)定性	≤ 1 W
	最大反射功率	200 W
	諧波分量≤d Bc	-50
	電源電壓	187V - 253V
	總效率≥%	70
	冷卻方法	強制空氣冷卻
真空泵	分子泵系統(tǒng)	極限真空：6.7*10-5 Pa。包括數(shù)字真空計
質(zhì)量流量計（LCD觸摸屏）	六個精密質(zhì)量流量計： MFC精度為：±1.5%F.S 。 MFC1 氬氣：氣體流量范圍取決于客戶的要求 MFC2 氮氣：氣體流量范圍取決于客戶的要求 MFC3 氧氣：氣體流量范圍取決于客戶的要求 MFC4 二氫化二碳：氣體流量范圍取決于客戶的要求 MFC5 甲烷：氣體流量范圍取決于客戶的要求 MFC6 氫氣：氣體流量范圍取決于客戶的要求（以上流量范圍僅供參考，請在訂購前確認氣體流量范圍。）底殼上安裝了一個氣體混合罐，底殼左側安裝了6個不銹鋼針閥，用于手動控制6種類型的氣體混合。 MFC的液晶觸摸屏（由科佳設計，帶有科佳標志）如下：
ALD閥門（此閥門不是由我們提供的）	兩個帶脈沖控制器的ALD閥（持續(xù)時間至少為10ms）并連接到觸摸屏
17MHZ超聲波霧化	配備1.7MHz超聲波霧化器，液體可霧化成液體顆粒并引入管式爐。 20VAC，1.7MHz超聲波霧化器 •液體罐標配316不銹鋼，并用氟橡膠密封件密封； •霧化量可設置為1至8，霧化量可通過調(diào)整齒輪的大小來控制； •可實現(xiàn)連續(xù)運行霧化和常規(guī)運行霧化兩種功能。正時可以從30分鐘調(diào)整到180分鐘（每30分鐘調(diào)整一次檔位）。
液體注入系統(tǒng)	•一套用于自動液體供給的標準液體注入泵 •注射泵配有最大容量為60ml的塑料注射器，用于容納液體； •注射泵速度調(diào)節(jié)范圍： 0.004ml/min-70ml/min
水冷卻器	用于冷卻水冷法蘭和真空泵。