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產(chǎn)品介紹:
KJ-TPECVD1100-S80CK3管式PECVD系統(tǒng)是借助微波或射頻等使含有薄膜組成原子的氣體電離，在局部形成等離子體，而等離子體化學活性很強，很容易發(fā)生反應，在基片上沉積出所期望的薄膜, 該系統(tǒng)主要用于金屬粉末鍍膜中，可以旋轉(zhuǎn)傾斜。KJ-TPECVD1100-S80CK3管式PECVD系統(tǒng)屬于PECVD系列的一種。
1200度管式PECVD系統(tǒng)實拍圖
產(chǎn)品優(yōu)勢：
1、氣密性好
1200℃管式PECVD系統(tǒng)爐管與法蘭之間采用O型圈擠壓密封、撤卸方便、可重復撤卸，氣密性好，磁流體密封，保證旋轉(zhuǎn)過程中還能抽真空
2、溫場均衡
采用多晶纖維爐膛材料，材料保溫性能好、反射率高、溫場均衡
3、可旋轉(zhuǎn)、傾斜
1200℃管式PECVD系統(tǒng)主要采用J-T1200旋轉(zhuǎn)管式爐，可傾斜可旋轉(zhuǎn)，可360度旋轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)速0-15轉(zhuǎn)（速度可調(diào)）；傾斜角0-15°（傾斜角可調(diào)）方便進出料，并且路管內(nèi)設置有揚料板，使材料在爐膛內(nèi)均勻受熱
4、溫控保護
具有超溫和斷偶保護功能
產(chǎn)品參數(shù)：
| 產(chǎn)品名稱 | 管式PECVD等離子氣相沉積系統(tǒng)(CE認證) |
| 旋轉(zhuǎn)管式爐部分 | |
| 產(chǎn)品型號 | KJ-T1200 |
| 加熱區(qū)長度 | 660mm（220+220+220mm三溫區(qū)） |
| 恒溫區(qū)長度 | 400mm |
| 爐管材質(zhì) | 高純石英管（變徑管） |
| 爐管尺寸 | 變徑管 兩端尺寸OD:80mm* 400mm 中間尺寸OD:150mm* 400mm 總長1200mm 爐管中間部分焊接揚料板 |
| 工作溫度 | ≦1100℃ |
| 最高溫度 | 1200℃ |
| 測溫元件 | 3支K型熱電偶分別控溫 |
| 溫控系統(tǒng) | 7寸觸屏顯示 ，16段可儲藏曲線 ，30段PID微電腦可編程自動控制，能儲存和拷貝數(shù)據(jù) |
| 保溫溫控精度 | ±1℃ |
| 溫控保護 | 具有超溫和斷偶保護功能 |
| 升溫速率 | 0-20ºC/min |
| 加熱元件 | 合金電阻絲 |
| 工作電壓 | AC220V 單相50HZ |
| 額定功率 | 5KW（以實際功率為準） |
| 爐膛材料 | 采用多晶纖維爐膛材料，材料保溫性能好、反射率高、溫場均衡 |
| 密封系統(tǒng) | 該爐爐管與法蘭之間采用O型圈擠壓密封、撤卸方便、可重復撤卸，氣密性好 |
| 法 蘭 | 水冷密封法蘭，已安裝機械壓力表和不銹鋼截止閥，方便拆卸，放取材料 |
| 傾斜結(jié)構(gòu) | 可傾斜傾斜角0-15°（傾斜角可調(diào)）方便進出料 |
| 旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu) | 可 360 度旋轉(zhuǎn)， 轉(zhuǎn)速0-15轉(zhuǎn)（速度可調(diào)） 材料在爐膛內(nèi)均勻受熱 |
| 爐殼溫度 | ≤45℃ |
| 真空系統(tǒng)部分 | |
| 名稱 | 分子泵組： 旋片泵DRV16+分子泵FF-160/620 |
| 主要參數(shù) | 極限真空度6.7*10-3Pa（包含KF25接口、真空擋板閥和可移動箱體） |
| 真空顯示 | 電容隔膜真空規(guī)，耐腐蝕，實時顯示真空度 |
| 真空顯示量程 | 其測量范圍為1×105--1×10-5pa |
| 旋轉(zhuǎn)密封 | 磁流體密封，保證旋轉(zhuǎn)過程中還能抽真空 |
| 氣路系統(tǒng)部分 | |
| 名稱 | 三路質(zhì)量流量計 |
| 氣路 | 三路 |
| 流量控制 | 液晶觸摸屏控制，數(shù)字顯示，每路氣體含有針閥單獨控制，氣體流量自動控制 |
| 進出氣口 | 三進一出，內(nèi)置精密混氣罐 |
| 鏈接方式 | 雙卡套接頭 |
| 流量范圍 | MFC1-MFC3：0-10SLM（量程可選） |
| 控制精度 | ±1.5%F.S左右，量程不同，略有差別 |
| 工作環(huán)境溫度 | 5℃-45℃ |
| 等離子射頻器部分 | |
| 名稱 | 射頻自動匹配器 |
| 工作頻率 | 13.56MHZ+0.005% |
| 正常工作反射功率 | ＜3W |
| 匹配時間 | ＜3S |
| 傳輸效率 | ＞90% |
| 使用穩(wěn)定性 | ±1%F.S |
| 匹配器電源 | AC220V/50-60HZ |
| 輸入連接器/輸出連接器 | N型/UHF |
| 控制模式 | 手動/自動 |
1200度管式PECVD系統(tǒng)實拍圖