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                網(wǎng)站導航

                產(chǎn)品中心

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                1200℃高溫PECVD設備
                1200℃高溫PECVD設備

                1200℃高溫PECVD設備

                型號:KJ-TPECVD1100-S80CK3

                簡要描述:

                KJ-TPECVD1100-S80CK3管式PECVD系統(tǒng)是借助微波或射頻等使含有薄膜組成原子的氣體電離,在局部形成等離子體,而等離子體化學活性很強

                ,很容易發(fā)生反應,在基片上沉積出所期望的薄膜, 該系統(tǒng)主要用于金屬粉末鍍膜中
                ,可以旋轉(zhuǎn)傾斜
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                詳細介紹

                產(chǎn)品介紹:

                KJ-TPECVD1100-S80CK3管式PECVD系統(tǒng)是借助微波或射頻等使含有薄膜組成原子的氣體電離,在局部形成等離子體

                ,而等離子體化學活性很強
                ,很容易發(fā)生反應,在基片上沉積出所期望的薄膜, 該系統(tǒng)主要用于金屬粉末鍍膜中
                可以旋轉(zhuǎn)傾斜
                。KJ-TPECVD1100-S80CK3管式PECVD系統(tǒng)屬于PECVD系列的一種。AZO管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
                 AZO管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                1200度管式PECVD系統(tǒng)實拍圖AZO管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
                1200度管式PECVD系統(tǒng)實拍圖AZO管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                AZO管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
                產(chǎn)品優(yōu)勢:

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                、氣密性好AZO管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
                1200℃管式PECVD系統(tǒng)爐管與法蘭之間采用O型圈擠壓密封
                、撤卸方便、可重復撤卸
                ,氣密性好
                ,磁流體密封,保證旋轉(zhuǎn)過程中還能抽真空AZO管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
                AZO管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
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                、溫場均衡
                AZO管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
                采用多晶纖維爐膛材料
                ,材料保溫性能好、反射率高
                、溫場均衡AZO管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
                AZO管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
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                、可旋轉(zhuǎn)、傾斜
                AZO管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
                1200℃管式PECVD系統(tǒng)主要采用J-T1200旋轉(zhuǎn)管式爐
                ,可傾斜可旋轉(zhuǎn)
                ,可360度旋轉(zhuǎn),轉(zhuǎn)速0-15轉(zhuǎn)(速度可調(diào));傾斜角0-15°(傾斜角可調(diào))方便進出料
                ,并且路管內(nèi)設置有揚料板
                ,使材料在爐膛內(nèi)均勻受熱AZO管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
                AZO管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
                4、溫控保護AZO管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
                具有超溫和斷偶保護功能AZO管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                AZO管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
                產(chǎn)品參數(shù):

                產(chǎn)品名稱 管式PECVD等離子氣相沉積系統(tǒng)(CE認證)
                旋轉(zhuǎn)管式爐部分
                產(chǎn)品型號 KJ-T1200
                加熱區(qū)長度 660mm(220+220+220mm三溫區(qū))
                恒溫區(qū)長度 400mm
                爐管材質(zhì) 高純石英管(變徑管)
                爐管尺寸 變徑管AZO管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
                兩端尺寸OD:80mm* 400mmAZO管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
                中間尺寸OD:150mm* 400mmAZO管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
                總長1200mm 爐管中間部分焊接揚料板
                工作溫度 ≦1100℃
                最高溫度 1200℃
                測溫元件 3支K型熱電偶分別控溫
                溫控系統(tǒng) 7寸觸屏顯示
                ,16段可儲藏曲線
                ,30段PID微電腦可編程自動控制,能儲存和拷貝數(shù)據(jù)
                保溫溫控精度 ±1℃
                溫控保護 具有超溫和斷偶保護功能
                升溫速率 0-20ºC/min
                加熱元件 合金電阻絲
                工作電壓 AC220V 單相50HZ
                額定功率 5KW(以實際功率為準)
                爐膛材料 采用多晶纖維爐膛材料
                ,材料保溫性能好
                、反射率高、溫場均衡
                密封系統(tǒng) 該爐爐管與法蘭之間采用O型圈擠壓密封
                、撤卸方便
                、可重復撤卸,氣密性好
                法   蘭 水冷密封法蘭
                ,已安裝機械壓力表和不銹鋼截止閥
                ,方便拆卸,放取材料
                傾斜結(jié)構(gòu) 可傾斜傾斜角0-15°(傾斜角可調(diào))方便進出料
                旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu) 可 360 度旋轉(zhuǎn)
                AZO管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
                轉(zhuǎn)速0-15轉(zhuǎn)(速度可調(diào))AZO管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
                材料在爐膛內(nèi)均勻受熱
                爐殼溫度 ≤45℃
                真空系統(tǒng)部分
                名稱 分子泵組:AZO管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
                旋片泵DRV16+分子泵FF-160/620
                主要參數(shù) 極限真空度6.7*10-3Pa(包含KF25接口
                、真空擋板閥和可移動箱體)
                真空顯示 電容隔膜真空規(guī),耐腐蝕
                ,實時顯示真空度
                真空顯示量程 其測量范圍為1×105--1×10-5pa
                旋轉(zhuǎn)密封 磁流體密封
                ,保證旋轉(zhuǎn)過程中還能抽真空
                氣路系統(tǒng)部分
                名稱 三路質(zhì)量流量計
                氣路 三路
                流量控制 液晶觸摸屏控制,數(shù)字顯示
                ,每路氣體含有針閥單獨控制
                ,氣體流量自動控制
                進出氣口 三進一出,內(nèi)置精密混氣罐
                鏈接方式 雙卡套接頭
                流量范圍 MFC1-MFC3:0-10SLM(量程可選)
                控制精度 ±1.5%F.S左右
                ,量程不同
                ,略有差別
                工作環(huán)境溫度 5℃-45℃
                等離子射頻器部分
                名稱 射頻自動匹配器
                工作頻率 13.56MHZ+0.005%
                正常工作反射功率 <3W
                匹配時間 <3S
                傳輸效率 >90%
                使用穩(wěn)定性 ±1%F.S
                匹配器電源 AC220V/50-60HZ
                輸入連接器/輸出連接器 N型/UHF
                控制模式 手動/自動

                AZO管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
                1200度管式PECVD系統(tǒng)實拍圖AZO管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
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