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型號:KJ-TPECVD1100-S80CK3
簡要描述:
KJ-TPECVD1100-S80CK3管式PECVD系統(tǒng)是借助微波或射頻等使含有薄膜組成原子的氣體電離,在局部形成等離子體,而等離子體化學活性很強
KJ-TPECVD1100-S80CK3管式PECVD系統(tǒng)是借助微波或射頻等使含有薄膜組成原子的氣體電離,在局部形成等離子體,而等離子體化學活性很強,很容易發(fā)生反應,在基片上沉積出所期望的薄膜, 該系統(tǒng)主要用于金屬粉末鍍膜中,可以旋轉(zhuǎn)傾斜。KJ-TPECVD1100-S80CK3管式PECVD系統(tǒng)屬于PECVD系列的一種。AZO管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
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1200度管式PECVD系統(tǒng)實拍圖AZO管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
1、氣密性好AZO管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
1200℃管式PECVD系統(tǒng)爐管與法蘭之間采用O型圈擠壓密封、撤卸方便、可重復撤卸,氣密性好,磁流體密封,保證旋轉(zhuǎn)過程中還能抽真空AZO管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
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2、溫場均衡AZO管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
采用多晶纖維爐膛材料,材料保溫性能好、反射率高、溫場均衡AZO管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
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3、可旋轉(zhuǎn)、傾斜AZO管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
1200℃管式PECVD系統(tǒng)主要采用J-T1200旋轉(zhuǎn)管式爐,可傾斜可旋轉(zhuǎn),可360度旋轉(zhuǎn),轉(zhuǎn)速0-15轉(zhuǎn)(速度可調(diào));傾斜角0-15°(傾斜角可調(diào))方便進出料,并且路管內(nèi)設置有揚料板,使材料在爐膛內(nèi)均勻受熱AZO管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
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4、溫控保護AZO管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
具有超溫和斷偶保護功能AZO管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
產(chǎn)品名稱 | 管式PECVD等離子氣相沉積系統(tǒng)(CE認證) |
旋轉(zhuǎn)管式爐部分 | |
產(chǎn)品型號 | KJ-T1200 |
加熱區(qū)長度 | 660mm(220+220+220mm三溫區(qū)) |
恒溫區(qū)長度 | 400mm |
爐管材質(zhì) | 高純石英管(變徑管) |
爐管尺寸 | 變徑管AZO管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司 兩端尺寸OD:80mm* 400mmAZO管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司 中間尺寸OD:150mm* 400mmAZO管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司 總長1200mm 爐管中間部分焊接揚料板 |
工作溫度 | ≦1100℃ |
最高溫度 | 1200℃ |
測溫元件 | 3支K型熱電偶分別控溫 |
溫控系統(tǒng) | 7寸觸屏顯示 ,16段可儲藏曲線 ,30段PID微電腦可編程自動控制,能儲存和拷貝數(shù)據(jù) |
保溫溫控精度 | ±1℃ |
溫控保護 | 具有超溫和斷偶保護功能 |
升溫速率 | 0-20ºC/min |
加熱元件 | 合金電阻絲 |
工作電壓 | AC220V 單相50HZ |
額定功率 | 5KW(以實際功率為準) |
爐膛材料 | 采用多晶纖維爐膛材料,材料保溫性能好、反射率高、溫場均衡 |
密封系統(tǒng) | 該爐爐管與法蘭之間采用O型圈擠壓密封、撤卸方便、可重復撤卸,氣密性好 |
法 蘭 | 水冷密封法蘭,已安裝機械壓力表和不銹鋼截止閥,方便拆卸,放取材料 |
傾斜結(jié)構(gòu) | 可傾斜傾斜角0-15°(傾斜角可調(diào))方便進出料 |
旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu) | 可 360 度旋轉(zhuǎn),AZO管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司 轉(zhuǎn)速0-15轉(zhuǎn)(速度可調(diào))AZO管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司 材料在爐膛內(nèi)均勻受熱 |
爐殼溫度 | ≤45℃ |
真空系統(tǒng)部分 | |
名稱 | 分子泵組:AZO管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司 旋片泵DRV16+分子泵FF-160/620 |
主要參數(shù) | 極限真空度6.7*10-3Pa(包含KF25接口、真空擋板閥和可移動箱體) |
真空顯示 | 電容隔膜真空規(guī),耐腐蝕,實時顯示真空度 |
真空顯示量程 | 其測量范圍為1×105--1×10-5pa |
旋轉(zhuǎn)密封 | 磁流體密封,保證旋轉(zhuǎn)過程中還能抽真空 |
氣路系統(tǒng)部分 | |
名稱 | 三路質(zhì)量流量計 |
氣路 | 三路 |
流量控制 | 液晶觸摸屏控制,數(shù)字顯示,每路氣體含有針閥單獨控制,氣體流量自動控制 |
進出氣口 | 三進一出,內(nèi)置精密混氣罐 |
鏈接方式 | 雙卡套接頭 |
流量范圍 | MFC1-MFC3:0-10SLM(量程可選) |
控制精度 | ±1.5%F.S左右,量程不同,略有差別 |
工作環(huán)境溫度 | 5℃-45℃ |
等離子射頻器部分 | |
名稱 | 射頻自動匹配器 |
工作頻率 | 13.56MHZ+0.005% |
正常工作反射功率 | <3W |
匹配時間 | <3S |
傳輸效率 | >90% |
使用穩(wěn)定性 | ±1%F.S |
匹配器電源 | AC220V/50-60HZ |
輸入連接器/輸出連接器 | N型/UHF |
控制模式 | 手動/自動 |
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