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PECVD射頻旋轉(zhuǎn)管式爐實(shí)拍vKR管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
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產(chǎn)品優(yōu)勢(shì):
1、PECVD具有基本溫度低、沉積速率快
、成膜質(zhì)量好、針孔較少
、不易龜裂等
；
vKR管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司2、PECVD工藝中由于等離子體中高速運(yùn)動(dòng)的電子撞擊到中性的反應(yīng)氣體分子
，就會(huì)使中性反應(yīng)氣體分子變成碎片或處于激活的狀態(tài)容易發(fā)生反應(yīng)
；
vKR管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司3、借助射頻等使含有薄膜組成原子的氣體
，在局部形成等離子體
，而等離子體化學(xué)活性很強(qiáng)
，很容易發(fā)生反應(yīng)
，在基片上沉積出所期望的薄膜；
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、真空系統(tǒng)由旋片真空和數(shù)顯真空計(jì)組成
，冷態(tài)極限真空度可達(dá)10Pa；
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、采用快接法蘭密封
，裝卸方便快捷；
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、加熱區(qū)域采用單溫區(qū)
，加熱區(qū)200mm，操作簡(jiǎn)便
，密封可靠
，綜合性能指標(biāo)較高。 7
、爐管采用定制變徑爐管
，管壁內(nèi)帶有石英撥料臺(tái)，讓物料受熱更充分
。爐管360℃旋轉(zhuǎn)
，旋轉(zhuǎn)速度可調(diào)。
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、溫控系統(tǒng)采用PID智能化程序控溫
，可以設(shè)置多段升降溫程序。
vKR管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司9、法蘭上帶有進(jìn)出氣旋轉(zhuǎn)接頭
，可以通入氮?dú)?div id="jfovm50" class="index-wrap">、氬氣等惰性保護(hù)氣體，可在氣氛環(huán)境下使用
。
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、安全防護(hù)，具有超溫保護(hù)功能
，當(dāng)溫度超過(guò)允許設(shè)定值后
，自動(dòng)報(bào)警保護(hù)功能，操作安全可靠
。
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、我司具有自行研發(fā)設(shè)計(jì)生產(chǎn)加工的能力，我們的機(jī)器提供終身配件更換和升級(jí)服務(wù)
。
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產(chǎn)品參數(shù):
| 產(chǎn)品名稱 |
PE旋轉(zhuǎn)管式爐 |
| 產(chǎn)品型號(hào) |
KJ-TX1100-S50LK1 |
| 爐膛材料 |
爐膛采用氧化鋁多晶纖維 |
| 爐管尺寸 |
兩端直徑約Φ30mm ，中間尺寸Φ50mm 總長(zhǎng)約1200mm |
| 加熱區(qū) |
200mm |
| 爐管材質(zhì) |
石英爐管 |
| 工作溫度 |
≤1000℃ |
| 最高溫度 |
1100℃ |
| 加熱元件 |
合金加熱絲 |
| 控溫精度 |
±1℃ |
| 加熱速率 |
0-20℃/min， 建議10℃/min ，可根據(jù)實(shí)驗(yàn)工藝進(jìn)行調(diào)節(jié) |
| 溫度測(cè)試元件 |
K型熱電偶 |
| 控溫系統(tǒng) |
采用智能化多段PID可編程控制Ovw高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結(jié)爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司vKR管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
溫度控制系統(tǒng)采用人工智能調(diào)節(jié)技術(shù) ，具有 PID 調(diào)節(jié)、自整定功能并可編制多段升降溫程序 ； Ovw高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結(jié)爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司vKR管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司1 、采用PID 方式調(diào)節(jié)控溫，可設(shè)置多段升降溫程序 Ovw高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結(jié)爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司vKR管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司2 、控溫精度±1ºC Ovw高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結(jié)爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司vKR管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司3 、具有過(guò)溫保護(hù) 斷偶保護(hù)過(guò)溫或斷偶時(shí)電爐加熱電路自動(dòng)切斷Ovw高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結(jié)爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司vKR管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
4、儀表具有溫度自整定的功能 |
| 密封方式 |
采用磁流體和真空法蘭的密封方式 ，密封效果更好 |
| 旋轉(zhuǎn)速率 |
15rpm/min 可調(diào) |
| 旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu) |
旋轉(zhuǎn)方式 ，爐管可以360℃旋轉(zhuǎn)，爐體可傾斜 |
| 工作電壓 |
AC 220v 50Hz |
| 加熱功率 |
2KW |
| 真空系統(tǒng) |
1 、采用DRV-10旋片真空泵,冷態(tài)極限真空度可達(dá)10Pa ，真空泵含粉塵過(guò)濾器 Ovw高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結(jié)爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司vKR管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司2、KF快接 ，不銹鋼波紋管 ，手動(dòng)擋板閥與法蘭，真空泵相連 ； Ovw高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結(jié)爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司vKR管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司3 、數(shù)顯真空計(jì)顯示 |
| 等離子電源系統(tǒng) |
功率范圍 0-500W（連續(xù)可調(diào)）Ovw高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結(jié)爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司vKR管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
工作頻率 13.56MHZ+0.005%Ovw高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結(jié)爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司vKR管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
工作模式 連續(xù)輸出Ovw高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結(jié)爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司vKR管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
射頻輸出阻抗接口 N-type,female（50Ω）Ovw高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結(jié)爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司vKR管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
功率穩(wěn)定度 ≤2WOvw高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結(jié)爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司vKR管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
最大反射功率 70WOvw高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結(jié)爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司vKR管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
電源保護(hù)設(shè)置 DC過(guò)流保護(hù)，功放過(guò)溫保護(hù)，反射功率保護(hù)Ovw高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結(jié)爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司vKR管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
供電電壓/頻率 單相交流（187V-253V）50-60HZOvw高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結(jié)爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司vKR管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
冷卻方式 風(fēng)冷 |
| 提供相關(guān)配件 |
坩堝鉤 |
| 售后服務(wù) |
12個(gè)月質(zhì)保、終身保修（加熱元件 、爐管等隨機(jī)贈(zèng)送配件不屬于質(zhì)保范圍） |
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