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產(chǎn)品介紹：
KJ-1200-S6010LC3-3Z設(shè)備是由觸屏管式爐、三路混氣氣路系統(tǒng)、進口真空系統(tǒng)、300w等離子電源系統(tǒng)組成，可用于石墨烯制備。
主要特點：
1、通過SE頻電源把石英真空室內(nèi)的氣體變?yōu)殡x子態(tài)。
2、PECVD比普通CVD進行化學(xué)氣相沉積所需的溫度更低。
3、可以通過SE頻電源的頻率來控制所沉積薄膜的應(yīng)力大小。
4、PECVD比普通CVD進行化學(xué)氣相沉積速率高、均勻性好、一致性和穩(wěn)定性高.
5、廣泛應(yīng)用于：各種薄膜的生長。
技術(shù)參數(shù)：
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產(chǎn)品名稱 |
混氣管式PECVD系統(tǒng) |
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型號 |
KJ-1200-S6010LC3-3Z |
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管式爐 |
最高工作溫度 |
1200℃ |
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持續(xù)工作溫度 |
≤1100℃ |
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加熱速率 |
最高20℃/min （建議10℃/min） |
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加熱區(qū)長度 |
300mm 單溫區(qū) |
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加熱元件 |
含鉬電阻絲 |
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熱電偶 |
K 型 |
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控溫精度 |
±1℃ |
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爐管尺寸 |
爐管直徑Φ50，Φ60，Φ80都可用 |
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材質(zhì): 高純石英 |
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溫度控制器 |
PLC觸屏控制 |
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真空法蘭 |
真空法蘭采用304不銹鋼制作 · 左端法蘭上安裝由不銹鋼針閥和一個球閥。 · 右端法蘭設(shè)計為KF25接口，配有擋板閥和兩個KF25卡箍 注：法蘭可選結(jié)構(gòu)，標準螺絲法蘭，快接KF法蘭，鉸鏈法蘭
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輸入電源
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單相 220V, 50 Hz 功率：3KW |
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真空泵系統(tǒng) |
進口真空泵 |
采用進口真空泵，真空度達 1.5 x 10-3 Torr 2.KF25快接，不銹鋼波紋管，手動擋板閥與法蘭
進口數(shù)字式真空顯示計 |
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工作頻率 |
13.56MHZ+0.005% |
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工作模式 |
連續(xù)輸出 |
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供電電源/頻率 |
單相交流 (187V-253V)50-60HZ |
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射頻輸出接口 |
UHF male |
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最大反射功率 |
＜2W |
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諧波分量 |
≤-50 (dBc) |
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電源保護設(shè)置 |
DC過流保護 |
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冷卻方式 |
強制風(fēng)冷 |
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等離子電源功率可選 |
200w/300w/500w/1000w |
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觸屏質(zhì)量流量計
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三通道精密質(zhì)量流量計：液晶觸摸屏控制，數(shù)字顯示
1.MFC 1-MFC3：0-500sccm可調(diào)
2.3個不銹鋼針閥安裝在供氣系統(tǒng)的左側(cè)，可手動控制3種氣體；
3.進出氣口：3進1出
4.連接方式：雙卡套連接 |
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注意事項 |
. 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa · 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加準確安全 · 當爐體溫度高于1000℃時，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當，保持在常壓狀態(tài) · 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊 · 石英管的長時間使用溫度＜1100℃ 對于樣品加熱的實驗，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）
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