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結(jié)構(gòu)組成：
立式PECVD系統(tǒng)

，由KJ-V1200真空立式管式爐、石英真空室

、射頻電源

、供氣系統(tǒng)、真空測量系統(tǒng)組成

。
主要特點：
1

、通過射頻電源把石英真空室內(nèi)的氣體變?yōu)殡x子態(tài)。
2

、PECVD比普通CVD進行化學氣相沉積所需的溫度更低

。
3、可以通過射頻電源的頻率來控制所沉積薄膜的應(yīng)力大小

。
4

、PECVD比普通CVD進行化學氣相沉積速率高、均勻性好

、一致性和穩(wěn)定性高

。
5、廣泛應(yīng)用于：各種薄膜的生長

，如：SiOx, SiNx, SiOxNy 和無定型硅(a-Si:H) 等

。
產(chǎn)品介紹：
這款KJ-V1200-S60LD系統(tǒng)以含鉬電阻絲為加熱元件，采用雙層殼體結(jié)構(gòu)和30段程序控溫儀表

，移相觸發(fā)

、可控硅控制，爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料

，爐管兩端能不銹鋼法蘭密封

，不銹鋼法蘭上安裝有氣嘴、閥門和壓力表

，真空泵接口

，具有溫場均衡、表面溫度低

、升降溫度速率快

、節(jié)能等優(yōu)點。
技術(shù)參數(shù)：

產(chǎn)品名稱	立式PECVD系統(tǒng)
產(chǎn)品型號	KJ-V1200-S60LD
立式管式爐
爐膛模式	立式開啟式
爐膛材料	進口氧化鋁耐火纖維
加熱元件	進口含鉬加熱絲
極限溫度	1200℃
工作溫度	≤1100℃
升溫速率	≤20℃(建議:15℃/min)
加熱溫區(qū)	單溫區(qū)
溫區(qū)總長度	440mm
爐管材質(zhì)	高純石英
爐管尺寸	60mm*1600mm
密封方式	304不銹鋼真空法蘭一套(含密封硅膠圈)
控制模式	觸屏 30段智能PID程序控溫預(yù)留通訊接口
控溫精度	±1℃
溫度曲線	多段"時間—溫度曲線"任意可設(shè)
測溫元件	K型熱電偶
供電電源	220V 50HZ 3KW
氣路系統(tǒng)
工作電壓	220V/50HZ
最大輸出功率	18W
工作溫度	5--45℃
最大氣壓	*3106Pa**
氣體通道	可同時連接3種氣源
流量計	質(zhì)量流量計
A路量程	0～500SCCM
B路量程	0～500SCCM
C路量程	0～500SCCM
氣路壓力	-0.1～0.15 MPa
截止閥	不銹鋼材質(zhì)
氣體連接管	1/4不銹鋼管
混氣罐規(guī)格	Φ80X120mm
等離子電源系統(tǒng)
射頻頻率	13.56 MHz ±0.005%
功率范圍	0-500W ± 1%
反射功率	最大100W
射頻接口	50 Ω, N-type
嗓聲	≤55DB
冷卻	風冷
輸入功率	1KW AC220V/50HZ
數(shù)顯真空計及連接件
防腐數(shù)顯真空計	英?div id="4qifd00" class="flower right">？捣栏瘮?shù)顯真空計安裝在不銹鋼法蘭上
真空泵組(相關(guān)連接配件)
真空泵	2.2L/S抽速真空泵,及相應(yīng)連接管件 220V/50HZ
汽化系統(tǒng)
電源	220v 50Hz 功率： 2200W
蠕動泵	精確度：+/- 0.5% FS 流量: 0 - 10 ml/min ，可調(diào)，最小速率0.1ml/min 將吸液管放置在溶液容器中，蠕動泵可自動抽取液體
加熱＆控溫	流體和氣體會在一個不銹鋼罐中加熱，此罐已經(jīng)安裝在殼體中，加熱最高溫度550ºC 不銹鋼出氣管處有二次加熱帶，防止蒸汽在輸出過程中冷凝，二次加熱帶加熱最高溫度200ºC
氣體流量控制	氣體流速通過浮子流量計控制量程：0.2- 2L/min（可調(diào)）一壓力表安裝在殼體面板上，可以測出液氣混合罐中的氣體壓強面板上安裝有兩個不銹鋼針閥，以控制氣體的進出出氣口尺寸：1/4”OD的不銹鋼口
認證	ISO認證、CE認證
售后服務(wù)	質(zhì)保一年，終身保修（耗材類：高溫密封圈、爐管、加熱元件等不屬于質(zhì)保范圍）

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產(chǎn)品中心

立式PECVD系統(tǒng)