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產(chǎn)品介紹：
KJ-T1200-S6018LC-H2是一款雙爐體滑動(dòng)的PECVD系統(tǒng)，此款設(shè)備中石英爐管采用雙管設(shè)計(jì)，便于實(shí)驗(yàn)容器的更換清洗，爐體采用滑動(dòng)式，可在室驗(yàn)中對(duì)樣品進(jìn)行快速加熱和快速冷卻。此款儀器特別適合新一代納米材料和二維晶體材料的探索研究。
技術(shù)參數(shù)：
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產(chǎn)品名稱(chēng) |
雙爐體滑動(dòng)式PECVD系統(tǒng)(CE認(rèn)證) |
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滑軌管式爐部分 |
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產(chǎn)品型號(hào) |
KJ-T1200-S6018LC-H2 |
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爐管尺寸 |
Φ60mmX1800mm |
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爐管材質(zhì) |
石英爐管 |
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爐管結(jié)構(gòu) |
雙爐管，內(nèi)爐管Φ50mmX300mm |
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爐體數(shù)量 |
雙爐體 |
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加熱區(qū) |
200mm，恒溫區(qū)100mm |
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工作溫度 |
1100℃ |
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最高溫度 |
1200℃ |
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溫控方式 |
K型熱電偶 |
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控制方式 |
PLC觸屏集成控制（加熱系統(tǒng)+真空系統(tǒng)+氣路系統(tǒng)） |
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控溫精度 |
±1℃ |
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溫度均勻性 |
±5℃ |
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溫控保護(hù) |
具有超溫和斷偶保護(hù)功能 |
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升溫速率 |
0-20ºC/M |
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加熱元件 |
含鉬電阻絲 |
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工作電壓 |
AC 220V 單相 50HZ （電路電壓用戶(hù)可選擇定制） |
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加熱功率 |
3KW |
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爐膛材料 |
氧化鋁多晶纖維 |
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爐體結(jié)構(gòu) |
滑軌結(jié)構(gòu)，兩個(gè)爐體在一個(gè)滑軌上面，和通過(guò)對(duì)爐體的滑動(dòng)達(dá)到對(duì)樣品快速加熱和快速冷卻的效果 |
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滑軌尺寸 |
鍍Cr厚鋼板做的雙向滑軌滑動(dòng)長(zhǎng)度：1200mm |
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法蘭接頭 |
標(biāo)配配有兩個(gè)不銹鋼真空法蘭 |
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密封系統(tǒng) |
該爐爐管與法蘭之間采用硅膠O型圈擠壓密封 |
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真空系統(tǒng)部分 |
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主要參數(shù) |
1、采用進(jìn)口愛(ài)德華真空泵，真空度達(dá) 1.5 x 10-3 Torr 2、 KF25快接，不銹鋼波紋管，手動(dòng)擋板閥與法蘭，真空泵相連； 防腐型進(jìn)口英富康數(shù)字式真空顯示計(jì)，其測(cè)量范圍為5×10-5- 1500mbar，測(cè)量精度可達(dá)0.1，測(cè)量不同氣體種類(lèi)不需要系數(shù)轉(zhuǎn)換。 |
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氣路系統(tǒng)部分 |
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名稱(chēng) |
五路質(zhì)量流量計(jì)混氣系統(tǒng) |
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控制方式 |
觸屏集成控制 |
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主要參數(shù) |
五通道精密質(zhì)量流量計(jì)：液晶觸摸屏控制，數(shù)字顯示，每路氣體控制均可在不同氣體中任意切換，無(wú)須人工換算；數(shù)字顯示，自動(dòng)控制。流量范圍流量范圍：O2，H2，C2H2，CH4，NH3 1.MFC 1-MFC5：0-50sccm 2.5個(gè)不銹鋼針閥安裝在供氣系統(tǒng)的左側(cè)，可手動(dòng)控制5種氣體； 3.進(jìn)出氣口：5進(jìn)1出 4.流量控制：觸屏設(shè)置，手動(dòng)開(kāi)關(guān) 5.連接方式：雙卡套連接 |
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等離子電源部分 |
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名稱(chēng) |
1000W等離子電源 |
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功率范圍 |
0-1000W（連續(xù)可調(diào)） |
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工作頻率 |
13.56MHZ+0.005% |
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工作模式 |
連續(xù)輸出 |
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射頻輸出阻抗接口 |
N-type,female（50Ω） |
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功率穩(wěn)定度 |
≤2W |
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最大反射功率 |
130W |
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電源保護(hù)設(shè)置 |
DC過(guò)流保護(hù)，功放過(guò)溫保護(hù)，反射功率保護(hù) |
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供電電壓/頻率 |
單相交流（187V-253V）50-60HZ |
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冷卻方式 |
風(fēng)冷 |
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整機(jī)尺寸 |
88X483X550 MM |
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認(rèn)證 |
ISO認(rèn)證、CE認(rèn)證 |
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售后服務(wù) |
質(zhì)保一年，終身保修（耗材類(lèi)：高溫密封圈、爐管、加熱元件等不屬于質(zhì)保范圍） |
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