，氣體可通過此爐預(yù)熱也可將液體蒸發(fā)氣化或固體原料升華后與氣體原料混合
。
rjY管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司rjY管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司產(chǎn)品參數(shù)：
| 產(chǎn)品名稱 |
1600℃高溫PECVD設(shè)備 |
| 產(chǎn)品型號 |
KJ-T1600-PECVD |
| 爐膛 |
分體式，上部可打開 |
| 最高溫度 |
1600度 |
| 工作溫度 |
≤1500℃ |
| 加熱速率 |
0~10℃/min |
| 溫區(qū) |
200mm+200mm+200mm |
| 加熱元件 |
硅鉬棒 |
| 熱電偶 |
B型熱電偶 |
| 溫度控制精度 |
±1℃ |
| 爐管尺寸 |
80mm OD x 3200 mm L |
| 管子材質(zhì) |
石英管 |
| 溫度控制 |
通過SCR功率控制的PID自動控制 |
| 加熱曲線 |
30步可編程 |
| 真空法蘭 |
帶閥門的不銹鋼真空法蘭 |
| 電源 |
380V 50Hz 三相 |
| 功率 |
14KW |
| 輸出功率 |
5-300W可調(diào) ，穩(wěn)定性±1% |
| 射頻頻率 |
13.56 MHz±0.005%穩(wěn)定性 |
| 反射功率 |
最大200W |
| 真空泵 |
3旋片式真空泵+分子泵系統(tǒng) |
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