，在局部形成等離子體
，而等離子體化學(xué)活性很強(qiáng)，很容易發(fā)生反應(yīng)
，在基片上沉積出所期望的薄膜, 該系統(tǒng)廣泛應(yīng)用于沉積SiO2薄膜
、Si3N4薄膜、金剛石薄膜
、硬質(zhì)薄膜、光學(xué)薄膜和炭納米管（CNT）
、石墨烯材料等
。屬于
PECVD的一種。
fwQ管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司產(chǎn)品功能和特點(diǎn)fwQ管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司1
、加熱元件采用摻鉬合金加熱絲
，爐膛保溫保溫材料采用氧化鋁陶瓷纖維材料
，保溫性能好，耐用，拉伸強(qiáng)度高，無(wú)雜球，純度高，節(jié)能效果明顯。fwQ管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
2、整個(gè)爐體采用雙層內(nèi)膽式結(jié)構(gòu)，中間有氣隙隔離，即使?fàn)t膛溫度高達(dá)1200℃，爐體表面仍然可以安全觸摸無(wú)滾燙感覺(jué)。fwQ管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
3、爐膛采用節(jié)能材料制作，整機(jī)能耗僅僅只有同等傳統(tǒng)電爐的1/3，節(jié)能環(huán)保。fwQ管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
4、爐體配有：輸出電壓和輸出電流監(jiān)測(cè)表，爐子加熱狀態(tài)一目了。fwQ管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
5、超溫報(bào)警并斷電 ，漏電保護(hù)
，操作安全可靠具有多重防護(hù)功能。
fwQ管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司規(guī)格參數(shù)
| 產(chǎn)品名稱 |
管式PECVD系統(tǒng) |
| 滑道管式爐部分 |
| 產(chǎn)品型號(hào) |
KJ-T1200 |
| 加熱區(qū)長(zhǎng)度 |
300mm |
| 爐管尺寸 |
直徑120*1600mm |
| 工作溫度 |
≦1100℃ |
| 最高溫度 |
1200℃ |
| 測(cè)溫元件 |
K型熱電偶 |
| 溫控系統(tǒng) |
30段PID微電腦可編程自動(dòng)控制 |
| 保溫溫控精度 |
±1℃ |
| 溫控保護(hù) |
具有超溫和斷偶保護(hù)功能 |
| 升溫速率 |
0-20ºC/min |
| 加熱元件 |
高電阻電熱合金絲OCr27A17Mo |
| 工作電壓 |
AC220V 單相50HZ |
| 額定功率 |
4KW |
| 爐膛材料 |
采用多晶纖維爐膛材料 ，材料保溫性能好 、反射率高、溫場(chǎng)均衡 |
| 密封系統(tǒng) |
該爐爐管與法蘭之間采用O型圈擠壓密封、撤卸方便、可重復(fù)撤卸，氣密性好 |
| 爐 管 |
高純石英管 |
| 法 蘭 |
304不銹鋼密封法蘭，已安裝機(jī)械壓力表和不銹鋼截止閥，方便拆卸，放取材料 |
| 爐體結(jié)構(gòu) |
鍍Cr厚鋼板雙向滑軌，可實(shí)現(xiàn)管式爐移動(dòng)，達(dá)到快速升溫和降溫 |
| 爐殼溫度 |
≤45℃ |
| 真空系統(tǒng)部分 |
| 名稱 |
DRV16旋片泵4L/S |
| 主要參數(shù) |
極限真空度10Pa（包含KF25接口、真空擋板閥和可移動(dòng)箱體） |
| 真空顯示 |
電阻數(shù)顯真空計(jì)，顯示范圍標(biāo)準(zhǔn)大氣壓--10-1pa |
| 氣路系統(tǒng)部分 |
| 名稱 |
四路質(zhì)量流量計(jì) |
| 氣路 |
四路 |
| 流量控制 |
數(shù)字顯示，每路氣體含有針閥單獨(dú)控制，氣體流量自動(dòng)控制 |
| 進(jìn)出氣口 |
四進(jìn)一出，內(nèi)置精密混氣罐 |
| 鏈接方式 |
雙卡套接頭 |
| 流量范圍 |
MFC1-MFC4：0-500sccm（量程可選） |
| 控制精度 |
±1.5%F.S左右，量程不同，略有差別 |
| 工作環(huán)境溫度 |
5℃-45℃ |
| 等離子射頻器部分 |
| 名稱 |
射頻自動(dòng)匹配器 |
| 匹配功率范圍 |
0-500W |
| 工作頻率 |
13.56MHZ+0.005% |
| 正常工作反射功率 |
＜3W |
| 匹配時(shí)間 |
＜3S |
| 傳輸效率 |
＞90% |
| 匹配器電源 |
AC220V/50-60HZ |
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