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產(chǎn)品介紹:

KJ-TCVD1600-L80LB3是一個CE認證的三溫區(qū)管式爐CVD系統(tǒng)

。爐管直徑為80mm

。真空泵采用雙旋轉(zhuǎn)機械泵，氣體混合系統(tǒng)為4路質(zhì)量氣體混合系統(tǒng)

。該爐工作溫度可達1600℃

，真空度可達10pa。屬于CVD系統(tǒng)的一種

。

3溫區(qū)管式CVD系統(tǒng)實拍圖

、發(fā)熱元件采用優(yōu)良MoSi2

，爐膛采用陶瓷纖維材料，保溫性能好

，經(jīng)久耐用

，抗拉強度高，無雜志

，純度高

，節(jié)能效果明顯。
2

、超溫報警及斷電

、漏電保護，運行安全可靠

。
3

、獨立溫控器，30級可編程溫度

。

加熱系統(tǒng)（管式爐）
最高溫度	1700 ℃
工作溫度	1600℃
顯示	LED顯示屏
管徑	80mm（外徑）
管材	優(yōu)質(zhì)鋁管
熱區(qū)長度	220+220+220mm（每個熱區(qū)之間會有間隙）
加熱元件	MoSi2
加熱速率	0-5℃/min
溫度控制	● PID自動通過SCR（可控硅整流器）控制功率，相位角觸發(fā)，限流電阻器。 ● 30個可編程段，用于控制加熱速率、冷卻速率和停留時間。 ● 內(nèi)置PID自動調(diào)節(jié)功能，具有過熱和熱電偶損壞保護功能。 ● 超溫保護和報警，允許在無人值守的情況下操作。
熱電偶	3個熱電偶（測量和溫度控制功能），位于每個熱區(qū)的中間（管道外側(cè)） 1個熱電偶（僅測量溫度），位于管內(nèi) 。
溫控精度	±1℃
爐膛結(jié)構(gòu)	雙層鋼制外殼，帶雙冷卻風扇，爐殼溫度低于60℃ 。一體式不可打開爐門。
真空法蘭	帶閥門的不銹鋼真空法蘭
工作電壓	220V 50Hz
最大功率	6KW
供氣系統(tǒng)
4通道質(zhì)子流量計：	MFC 1：氣體流量范圍為0~100sccm MFC 2：控制范圍為0~200 sccm MFC3：控制范圍為0-500sccm MFC4：控制范圍為0~200 sccm 一個氣體混合罐安裝在底部殼體上，帶有液體釋放閥底殼左側(cè)安裝4個不銹鋼針閥，控制4種氣體混合
真空泵+真空計系統(tǒng)
真空泵+真空計	配備旋轉(zhuǎn)葉片泵，使真空度達到10Pa（冷卻狀態(tài)）