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產(chǎn)品簡(jiǎn)介：
低真空CVD系統(tǒng)，采用雙層殼體結(jié)構(gòu)

，配有冷風(fēng)系統(tǒng)自動(dòng)降溫爐殼溫度不超過(guò)45℃

，溫度控制系統(tǒng)采用人工智能調(diào)節(jié)技術(shù)，具有PID調(diào)節(jié)

、自整定功能

，使用日本技術(shù)真空吸附成型的高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛，材料保溫性能好

、反射率高

、溫場(chǎng)均衡。
低真空CVD系統(tǒng)工作溫度為300℃至1200℃

，配備真空系統(tǒng)

，氣體混合裝置。采用了溫度控制系統(tǒng)

，高溫精度

，出色的氣體流量精度，易于操作

，有非常好的隔熱效果和溫度均勻性

。主要用于大學(xué)，研究中心和生產(chǎn)企業(yè)進(jìn)行氣相沉積相關(guān)的實(shí)驗(yàn)與生產(chǎn)

。

產(chǎn)品用途：
此款CVD生長(zhǎng)系統(tǒng)適用于CVD工藝

，如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測(cè)試

、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長(zhǎng)

、陶瓷電容（MLCC）氣氛燒結(jié)等實(shí)驗(yàn)。

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)：
1

、控制電路選用模糊PID程控技術(shù)

，該技術(shù)控溫精度高，熱慣性小

，溫度不過(guò)沖

，性能可靠，操作簡(jiǎn)單

。
2

、中低真空系統(tǒng)具有真空度上下限自動(dòng)控制功能，高真空系統(tǒng)采用高壓強(qiáng)

，耐沖擊真空泵

，防止意外漏氣造成真空泵損壞

，延長(zhǎng)系統(tǒng)使用壽命。

產(chǎn)品參數(shù)：

產(chǎn)品名稱(chēng)	低真空CVD系統(tǒng)
產(chǎn)品型號(hào)	KJ-T1200-S60-CVD
管式爐部分
爐體結(jié)構(gòu)	雙層殼體結(jié)構(gòu) ，配有冷風(fēng)系統(tǒng)自動(dòng)降溫爐殼溫度不超過(guò)45℃
爐膛材質(zhì)	日本技術(shù)真空吸附成型的優(yōu)質(zhì)高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛，材料保溫性能好、反射率高、溫場(chǎng)均衡
最高溫度	1200℃
連續(xù)工作溫度	1100℃
升溫速度	推薦≤10℃/min，最快升溫速度20℃/min
爐管材料	高純石英管
爐管尺寸	OD:60mm* ID:54mm * 長(zhǎng)1200mm 儀器使用前必須放入管堵，防止熱輻射
加熱區(qū)長(zhǎng)度	220+220+220mm
法蘭	不銹鋼密封法蘭，拆卸方便，法蘭上裝有精密針閥
溫控系統(tǒng)	溫度控制系統(tǒng)采用人工智能調(diào)節(jié)技術(shù) ，具有PID調(diào)節(jié) 、自整定功能 1、采用PID方式調(diào)節(jié)控溫，可設(shè)置30段升降溫程序 2 、控溫精度±1ºC 3、具有過(guò)溫保護(hù) 、斷偶保護(hù) 4 、儀表具有溫度自整定的功能
加熱元件	含鉬合金電阻絲
測(cè)溫元件	K型熱電偶
工作電源	AC220V，50/60Hz
額定功率	5KW
進(jìn)出氣口	法蘭上含有真空連接口，進(jìn)出氣口
氣路系統(tǒng)部分
質(zhì)量流量計(jì)	四路精密質(zhì)量流量計(jì)：數(shù)字顯示、氣體流量自動(dòng)控制。 MFC1 范圍: 0-500 sccm(量程可選) MFC2 范圍: 0-500 sccm(量程可選) MFC3 范圍: 0-500 sccm(量程可選) MFC4 范圍: 0-500 sccm(量程可選) 氣路:4 路流量精度: 0.2%
真空系統(tǒng)部分
真空泵	1.DRV10旋片泵抽速2L/S 2.極限真空度：7*10-2Torr 3.數(shù)顯真空計(jì) ，實(shí)時(shí)顯示真空度，真空顯示范圍：1×105--1×10-1pa
標(biāo)準(zhǔn)配置	主機(jī) 1 臺(tái)，流量計(jì) 1 套、真空泵 1 套，密封法蘭 1 對(duì)，石英管 1 支，密封圈4 個(gè) ，爐堵 6 個(gè)，坩堝鉤 1 把，高溫手套 1 副、拆卸扳手 1把、說(shuō)明書(shū) 1 份、合格證保修卡 1 份

低真空CVD系統(tǒng)

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產(chǎn)品中心

低真空CVD系統(tǒng)