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單溫區(qū)四通道CVD系統(tǒng)

型號：KJ-T1200-S6030-LC4

簡要描述：

KJ-T1200-S6030-LC4單溫區(qū)四通道CVD系統(tǒng)

，是由KJ-T1200單溫區(qū)管式爐

，四路質(zhì)量流量計混氣系統(tǒng)和進口真空計真空泵組成，此款CVD生長系統(tǒng)適用于CVD工藝

，如碳化硅鍍膜

、陶瓷基片導電率測試。

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詳細介紹

產(chǎn)品介紹：
KJ-T1200-S6030-LC4單溫區(qū)四通道CVD系統(tǒng)，是由KJ-T1200單溫區(qū)管式爐

，四路質(zhì)量流量計混氣系統(tǒng)和進口真空計真空泵組成

，此款CVD生長系統(tǒng)適用于CVD工藝，如碳化硅鍍膜

、陶瓷基片導電率測試

、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長、陶瓷電容氣氛燒結(jié)等實驗

。
技術參數(shù)：

產(chǎn)品名稱		單溫區(qū)四通道CVD系統(tǒng)
型號		KJ-T1200-S6030-LC4
管式爐	最高工作溫度	1200℃
	持續(xù)工作溫度	≤1100℃
	加熱速率	最高20℃/min （建議10℃/min）
	加熱區(qū)長度	300mm 單溫區(qū)
	加熱元件	含鉬電阻絲
	熱電偶	K 型
	控溫精度	±1℃
	爐管尺寸	爐管直徑Φ60
	爐管尺寸	材質(zhì): 高純石英
	溫度控制器	PLC觸屏控制
	真空法蘭	真空法蘭采用304不銹鋼制作 · 左端法蘭上安裝由不銹鋼針閥和一個球閥。 · 右端法蘭設計為KF25接口，配有擋板閥和兩個KF25卡箍注：法蘭可選結(jié)構(gòu) ，標準螺絲法蘭，快接KF法蘭，鉸鏈法蘭
	輸入電源	單相 220V, 50 Hz 功率：3KW
真空泵系統(tǒng)	真空泵	采用國產(chǎn)真空泵，真空度達 1.5 x 10-³Torr 2.KF25快接，不銹鋼波紋管，手動擋板閥與法蘭，真空泵相連；進口數(shù)字式真空顯示計，其測量范圍為5×10^-5- 1500mbar，測量精度可達0.1 ，測量不同氣體種類不需要系數(shù)轉(zhuǎn)換
質(zhì)量流量計	四通道精密質(zhì)量流量計：旋鈕控制，數(shù)字顯示，量程范圍 1.MFC 1-MFC4：0-500sccm可調(diào) 2.4個不銹鋼針閥安裝在供氣系統(tǒng)的左側(cè) ，可手動控制4種氣體； 3.進出氣口：4進1出 4.連接方式：雙卡套連接
注意事項	爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa · 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加準確安全 · 當爐體溫度高于1000℃時，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當，保持在常壓狀態(tài) · 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM ，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊 · 石英管的長時間使用溫度＜1100℃ 對于樣品加熱的實驗，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa ，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）
質(zhì)保	質(zhì)保一年，終身保修（耗材類：高溫密封圈、爐管、加熱元件等不屬于質(zhì)保范圍）