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                網(wǎng)站導(dǎo)航

                產(chǎn)品中心

                當(dāng)前位置:首頁(yè) > 產(chǎn)品展示 > CVD/PECVD設(shè)備 > CVD系統(tǒng)
                單溫區(qū)微型CVD系統(tǒng)
                單溫區(qū)微型CVD系統(tǒng)

                單溫區(qū)微型CVD系統(tǒng)

                型號(hào):KJ-T1200-S5020-F

                簡(jiǎn)要描述:

                單溫區(qū)微型CVD系統(tǒng)是由MINI管式爐和兩通道浮子流量計(jì)氣路和真空系統(tǒng)組成的一款特殊的CVD系統(tǒng)

                ,適用于高校
                、科研院所
                、工礦企業(yè)做高溫氣氛燒結(jié)
                、氣氛還原
                推薦產(chǎn)品
                詳細(xì)介紹
                產(chǎn)品介紹:mV5管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
                KJ-T1200-S5020-F單溫區(qū)微型CVD系統(tǒng)是由MINI管式爐和兩通道浮子流量計(jì)氣路和真空系統(tǒng)組成的一款特殊的CVD系統(tǒng)
                ,適用于高校、科研院所
                、工礦企業(yè)做高溫氣氛燒結(jié)
                、氣氛還原、CVD實(shí)驗(yàn)
                、真空退火等試驗(yàn)
                mV5管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
                技術(shù)參數(shù):mV5管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
                                                                                                                             

                型號(hào)mV5管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                KJ-T1200-S5020-FmV5管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                mini管式爐mV5管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                爐管直徑mV5管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                Φ50mV5管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                加熱區(qū)mV5管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                200mmmV5管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                溫度溫度mV5管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                最高1200℃,工作溫度1100℃mV5管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                加熱速率mV5管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                0-20℃/min

                ,建議20℃/minmV5管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                控溫精度mV5管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                ±1℃mV5管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                加熱元件mV5管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                                            含鉬電阻絲mV5管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                控制方式mV5管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                PID智能化多段程序控溫mV5管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                爐管材質(zhì)mV5管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                石英管mV5管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                額定電壓mV5管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                110-415V

                ,50/60HzmV5管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                氣路系統(tǒng)mV5管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                浮子流量計(jì)mV5管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                兩個(gè)浮子流量計(jì)量程為16 —160mL/min ,混氣箱上安裝有不銹鋼針閥

                ,后端裝有φ6.35卡套接頭
                ,無(wú)需通電mV5管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                真空系統(tǒng)mV5管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                真空泵mV5管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                1.采用國(guó)產(chǎn)真空泵,真空度達(dá) 1.5 x 10-3 Torr mV5管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                2.KF25快接

                ,不銹鋼波紋管
                ,手動(dòng)擋板閥與法蘭,真空泵相連
                mV5管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                3.進(jìn)口數(shù)字式真空顯示計(jì)

                ,其測(cè)量范圍為5×10-5- 1500mbar,測(cè)量精度可達(dá)0.1
                ,測(cè)量不同氣體種類不需要系數(shù)轉(zhuǎn)換mV5管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                注意事項(xiàng)mV5管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPamV5管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                · 由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高

                ,所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí),氣瓶上必須安裝減壓閥
                ,建議在本公司選購(gòu)減壓閥
                ,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加準(zhǔn)確安全mV5管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                · 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí),爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)

                ,保持在常壓狀態(tài)mV5管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                · 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM

                ,以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊mV5管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                · 石英管的長(zhǎng)時(shí)間使用溫度<1100℃mV5管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn),不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用

                。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱
                ,則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa
                ,必須立刻打開泄氣閥
                ,以防意外發(fā)生(如爐管破裂,法蘭飛出等)mV5管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                質(zhì)保mV5管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                質(zhì)保一年

                ,終身保修(耗材類:高溫密封圈
                、爐管、加熱元件等不屬于質(zhì)保范圍)mV5管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

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