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產(chǎn)品介紹：
KJ-T1400-L1030-LZ4是由KJ-T1400單溫區(qū)管式爐，四路質(zhì)量混氣系統(tǒng)和高真空擴散泵機組組成。其最高工作溫度可達1400℃，極限真空度可達 6.67x10-3 Pa?div id="d48novz" class="flower left">
技術參數(shù)：
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產(chǎn)品名稱
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1400℃高真空CVD系統(tǒng) |
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型號 |
KJ-T1400-L1030-LZ4 |
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管式爐 |
最高溫度 |
1400℃ |
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工作溫度 |
≤1300℃ |
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加熱速率 |
最高20℃/min （建議10℃/min） |
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加熱區(qū)長度 |
300mm |
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加熱元件 |
硅碳棒 |
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熱電偶 |
S型 |
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控溫精度 |
±1℃ |
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爐管尺寸 |
爐管直徑Φ100mm |
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材質(zhì): 剛玉爐管 |
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溫度控制器 |
PID智能化30段程序控溫 |
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真空法蘭 |
真空法蘭采用304不銹鋼制作 左端法蘭上安裝由不銹鋼針閥和一個球閥。 右端法蘭設計為KF25接口，配有擋板閥和兩個KF25卡箍 |
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輸入電源
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單相 220V, 50 Hz 功率：4KW |
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真空泵系統(tǒng) |
擴散泵 |
采用擴散泵泵組，真空度達 6.67 x 10-3 Pa 2.KF25快接，不銹鋼波紋管，手動擋板閥與法蘭，真空泵相連，采用復合數(shù)顯真空計 |
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氣路系統(tǒng)
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四通道精密質(zhì)量流量計：手動智能控制
1.MFC 1-MFC4：0-500sccm可調(diào)
2.4個不銹鋼針閥安裝在供氣系統(tǒng)的左側(cè)，可手動控制3種氣體
3.進出氣口：4進1出
4.連接方式：雙卡套連接 |
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水冷機（選配） |
配有循環(huán)水冷機 |
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注意事項 |
爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa
· 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時
· 當爐體溫度高于1000℃時
· 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM
對于樣品加熱的實驗
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質(zhì)保 |
質(zhì)保一年，終身保修（耗材類：高溫密封圈 |
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