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                1400℃高真空CVD系統(tǒng)
                1400℃高真空CVD系統(tǒng)

                1400℃高真空CVD系統(tǒng)

                型號:KJ-T1400-L1030-LZ4

                簡要描述:

                KJ-T1400-L1030-LZ4是由KJ-T1400單溫區(qū)管式爐,四路質(zhì)量混氣系統(tǒng)和高真空擴散泵機組組成

                。其最高工作溫度可達1400℃,極限真空度可達 6.67x10-3 Pa
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                ;鞖庀到y(tǒng)可以四種氣體進行準確的混氣。

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                詳細介紹
                 

                產(chǎn)品介紹:j5J管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
                KJ-T1400-L1030-LZ4是由KJ-T1400單溫區(qū)管式爐,四路質(zhì)量混氣系統(tǒng)和高真空擴散泵機組組成

                。其最高工作溫度可達1400℃
                ,極限真空度可達 6.67x10-3 Pa?div id="d48novz" class="flower left">
                ;鞖庀到y(tǒng)可以四種氣體進行準確的混氣
                ,然后導入到管式爐內(nèi)部。j5J管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
                技術參數(shù):j5J管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                產(chǎn)品名稱

                 j5J管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                1400℃高真空CVD系統(tǒng)j5J管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                     型號j5J管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                KJ-T1400-L1030-LZ4j5J管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                管式爐j5J管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                最高溫度j5J管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                1400℃ j5J管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                工作溫度j5J管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                ≤1300℃j5J管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                加熱速率j5J管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                最高20℃/min (建議10℃/min)j5J管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                加熱區(qū)長度j5J管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                 300mmj5J管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                加熱元件j5J管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                硅碳棒j5J管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                熱電偶j5J管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                S型j5J管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                控溫精度j5J管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                ±1℃j5J管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                爐管尺寸j5J管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                爐管直徑Φ100mmj5J管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                材質(zhì):  剛玉爐管j5J管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                溫度控制器j5J管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                PID智能化30段程序控溫j5J管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                真空法蘭j5J管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                真空法蘭采用304不銹鋼制作j5J管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                左端法蘭上安裝由不銹鋼針閥和一個球閥

                j5J管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                右端法蘭設計為KF25接口

                ,配有擋板閥和兩個KF25卡箍j5J管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                輸入電源j5J管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                 j5J管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                單相 220V, 50 Hz  功率:4KWj5J管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                真空泵系統(tǒng)j5J管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                擴散泵j5J管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                采用擴散泵泵,真空度達 6.67 x 10-3 Pa 2.KF25快接

                ,不銹鋼波紋管
                ,手動擋板閥與法蘭,真空泵相連
                ,采用復合數(shù)顯真空計j5J管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                氣路系統(tǒng)j5J管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                 j5J管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                 j5J管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                四通道精密質(zhì)量流量計:手動智能控制

                ,數(shù)字顯示
                ,每路氣體控制均可在不同氣體中任意切換,無須人工換算
                j5J管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                1.MFC 1-MFC4:0-500sccm可調(diào)j5J管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                2.4個不銹鋼針閥安裝在供氣系統(tǒng)的左側(cè),可手動控制3種氣體

                j5J管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                3.進出氣口:4進1出j5J管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                4.連接方式:雙卡套連接j5J管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                水冷機(選配)j5J管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                配有循環(huán)水冷機

                ,可以對爐管及真空泵進行冷卻j5J管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                注意事項j5J管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPaj5J管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                · 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時

                ,氣瓶上必須安裝減壓閥
                ,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加準確安全j5J管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                · 當爐體溫度高于1000℃時

                ,爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)
                ,爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當,保持在常壓狀態(tài)j5J管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                · 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM

                ,以避免冷的大氣流對加熱爐管的沖擊j5J管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                對于樣品加熱的實驗

                ,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱
                ,則需時刻關注壓力表的示數(shù)
                ,若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥
                ,以防意外發(fā)生(如爐管破裂
                ,法蘭飛出等)j5J管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                 j5J管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                質(zhì)保j5J管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                質(zhì)保一年,終身保修(耗材類:高溫密封圈

                、爐管
                、加熱元件等不屬于質(zhì)保范圍)j5J管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                j5J管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
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