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產(chǎn)品介紹：
KJ-1200-S6014LK1-H這款設(shè)備是專為生長(zhǎng)石墨烯研制的石墨烯薄膜生長(zhǎng)專用爐，也同樣適用于要求升降溫速度比較快的CVD實(shí)驗(yàn)，溫區(qū)可獨(dú)立程序控制，設(shè)備操作時(shí)可將實(shí)驗(yàn)需要的恒定高溫直接推到樣品處，使樣品能得到一個(gè)快速的升溫速度，同樣也可將高溫的管式爐直接推離樣品處，使樣品直接暴露在室溫環(huán)境下，得到快速的降溫速率。
主要參數(shù)：
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產(chǎn)品名稱 |
石墨烯生長(zhǎng)爐CVD系統(tǒng) |
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型號(hào) |
KJ-1200-S6014LK1-H |
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滑軌管式爐 |
爐體結(jié)構(gòu) |
滑軌式 |
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最高工作溫度 |
1200℃ |
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持續(xù)工作溫度 |
≤1100℃ |
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加熱速率 |
最高20℃/min （建議10℃/min） |
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加熱區(qū)長(zhǎng)度 |
300mm 單溫區(qū) |
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加熱元件 |
含鉬電阻絲 |
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熱電偶 |
K 型 |
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控溫精度 |
±1℃ |
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爐管直徑 |
Φ50，Φ60，Φ80都可用 |
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爐管材質(zhì) |
石英爐管 |
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溫度控制器 |
PID智能程序控溫 |
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真空法蘭 |
真空法蘭采用304不銹鋼制作 左端法蘭上安裝由不銹鋼針閥和一個(gè)球閥。右端法蘭設(shè)計(jì)為KF25接口，配有擋板閥和兩個(gè)KF25卡箍 注：法蘭可選結(jié)構(gòu)，標(biāo)準(zhǔn)螺絲法蘭，快接KF法蘭，鉸鏈法蘭
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輸入電源
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單相 220V, 50 Hz 功率：3KW |
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真空泵系統(tǒng) |
旋片真空泵帶數(shù)字真空計(jì) （包含KF25接口和可移動(dòng)箱體）
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極限真空度 10-3 Torr. 爐管內(nèi)真空度 10-2 Torr. 抽速: 4CFM (2L/S, 120L/min)
備注：用戶可根據(jù)真空度要求不同可選用旋片真泵 |
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質(zhì)量流量計(jì)
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3路高精度質(zhì)量流量計(jì): 量程：MF1-MF3量程范圍50-1000sccm可調(diào)
底部安裝有一個(gè)混氣罐，左側(cè)安裝有3個(gè)不銹鋼針閥
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注意事項(xiàng) |
. 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa
· 由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)
· 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí)
· 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM
· 石英管的長(zhǎng)時(shí)間使用溫度＜1100℃
對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)
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認(rèn)證 |
ISO認(rèn)證、CE認(rèn)證 |
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售后服務(wù) |
質(zhì)保一年，終身保修（耗材類：高溫密封圈、爐管、加熱元件等不屬于質(zhì)保范圍） |
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