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產(chǎn)品名稱lt2管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
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1400℃三溫區(qū)CVD系統(tǒng)lt2管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
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型號lt2管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
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KJ-T1400-L6030-LC3lt2管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
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最高溫度lt2管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
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1400℃ lt2管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
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其他參數(shù)lt2管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
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工作溫度lt2管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
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≤1300℃lt2管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
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加熱速率lt2管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
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最高20℃/min （建議10℃/min）lt2管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
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加熱區(qū)長度lt2管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
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三溫區(qū)，每個溫區(qū)200mmlt2管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
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加熱元件lt2管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
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硅碳棒lt2管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
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熱電偶lt2管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
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S型lt2管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
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控溫精度lt2管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
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±1℃lt2管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
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爐管尺寸lt2管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
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爐管直徑Φ50，Φ60，Φ80都可用lt2管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
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材質(zhì) lt2管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
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剛玉爐管lt2管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
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溫度控制器lt2管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
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PID智能化30段程序控溫lt2管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
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真空法蘭lt2管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
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真空法蘭采用304不銹鋼制作lt2管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
左端法蘭上安裝由不銹鋼針閥和一個球閥。 lt2管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
右端法蘭設(shè)計為KF25接口，配有擋板閥和兩個KF25卡箍lt2管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
注：法蘭可選結(jié)構(gòu)，標準螺絲法蘭 ，快接 KF法蘭，鉸鏈法蘭lt2管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
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輸入電源lt2管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
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單相 220V, 50 Hz 功率：3KWlt2管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
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真空泵系統(tǒng)lt2管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
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進口真空泵lt2管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
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采用進口真空泵，真空度達 1.5 x 10-3 Torr 2.KF25快接 ，不銹鋼波紋管，手動擋板閥與法蘭 ，真空泵相連 ； 進口數(shù)字式真空顯示計，其測量范圍為5×10-5- 1500mbar，測量精度可達0.1 ，測量不同氣體種類不需要系數(shù)轉(zhuǎn)換 lt2管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
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氣路系統(tǒng)lt2管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
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三通道精密質(zhì)量流量計：手動智能控制，數(shù)字顯示，每路氣體控制均可在不同氣體中任意切換 ，無須人工換算； lt2管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
1.MFC 1-MFC3：0-500sccm可調(diào)lt2管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
2.3個不銹鋼針閥安裝在供氣系統(tǒng)的左側(cè)，可手動控制 3種氣體 ； lt2管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
3.進出氣口：3進1出lt2管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
4.連接方式：雙卡套連接lt2管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
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水冷機（選配）lt2管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
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配有循環(huán)水冷機，可以對爐管及真空泵進行冷卻lt2管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
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注意事項lt2管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
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爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPalt2管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
· 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高 ，所以向爐管內(nèi)通入氣體時 ，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥 ，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加準確安全 lt2管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
· 當爐體溫度高于1000℃時 ，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當 ，保持在常壓狀態(tài) lt2管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
· 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱爐管的沖擊 lt2管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
對于樣品加熱的實驗，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱 ，則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa ，必須立刻打開泄氣閥 ，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等） lt2管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
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質(zhì)保lt2管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
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質(zhì)保一年，終身保修（耗材類：高溫密封圈 、爐管 、加熱元件等不屬于質(zhì)保范圍）lt2管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
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