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一

、產(chǎn)品介紹

ＰＥＣＶＤ　是借助微波或射頻等使含有薄膜組成原子的氣體電離，在局部形成等離子體

，而等離子體化學(xué)活性很強(qiáng)

，很容易發(fā)生反應(yīng)，在基片上沉積出所期望的薄膜, 該系統(tǒng)廣泛應(yīng)用于沉積高質(zhì)量SiO2薄膜

、Si3N4薄膜

、金剛石薄膜、硬質(zhì)薄膜

、光學(xué)薄膜和炭納米管（CNT）等

。

主要功能和特點(diǎn)

1、加熱元件采用摻鉬合金加熱絲

，爐膛保溫材料采用進(jìn)口多晶纖維材料

，保溫性能好，耐用

，拉伸強(qiáng)度高

，無雜球，純度高

，節(jié)能效果明顯優(yōu)于國內(nèi)纖維材料

。

2、整個(gè)爐體采用雙層內(nèi)膽式結(jié)構(gòu)

，中間有氣隙隔離

，即使?fàn)t膛溫度高達(dá)1200℃，爐體表面仍然可以安全觸摸無滾燙感覺

。

、爐膛采用節(jié)能材料制作，整機(jī)能耗僅僅只有同等傳統(tǒng)電爐的1/3

，節(jié)能環(huán)保

。

4、爐體配有：輸出電壓和輸出電流監(jiān)測表

，爐子加熱狀態(tài)一目了

。

5、超溫報(bào)警并斷電

，漏電保護(hù)

，操作安全可靠具有多重防護(hù)功能。

二、設(shè)備結(jié)構(gòu)
滑道式PECVD系統(tǒng)由KJ-T1200管式爐加熱系統(tǒng)

、真空系統(tǒng)

、質(zhì)量流量計(jì)供氣系統(tǒng)、等離子射頻電源系統(tǒng)組成

。

三

、規(guī)格參數(shù)

產(chǎn)品名稱	管式PECVD系統(tǒng)(CE認(rèn)證)
管式爐部分（可滑動(dòng)）
產(chǎn)品型號	KJ-T1200
加熱區(qū)長度	450mm
爐管直徑	直徑60mm
工作溫度	≦1100℃
最高溫度	1200℃
測溫元件	K型熱電偶
溫控系統(tǒng)	PID微電腦可編程自動(dòng)控制
控溫精度	±1℃
溫控保護(hù)	具有超溫和斷偶保護(hù)功能
升溫速率	0-20ºC/min
加熱元件	高電阻電熱合金絲OCr27A17Mo
工作電壓	AC 220V 單相 50HZ
滑軌設(shè)計(jì)	能實(shí)現(xiàn)快速升降溫
爐膛材料	采用多晶纖維爐膛材料，材料保溫性能好、反射率高、溫場均衡
密封系統(tǒng)	該爐爐管與法蘭之間采用O型圈擠壓密封、撤卸方便、可重復(fù)撤卸，氣密性好
爐管	高純石英管
法蘭	不銹鋼法蘭，方便拆卸，放取材料
爐殼溫度	≤45℃
真空系統(tǒng)部分
名稱	高真空分子泵組
主要參數(shù)	真空泵極限真空度10-3 pa（包含KF25接口和可移動(dòng)箱體）
真空計(jì)測量范圍	其測量范圍為1×105--1×10-5pa
氣路系統(tǒng)部分
名稱	四路質(zhì)子流量計(jì)
氣路	四路
流量控制	每路氣體含有針閥單獨(dú)控制
流量計(jì)	質(zhì)子流量計(jì)
流量范圍	H2 0-200sccm Ar 0-200sccm CH4 0-100sccm CH4 0-500sccm
輸入	0-5V
工作壓差范圍	0.1-0.5MPa
最大耐壓	3MPa
工作環(huán)境溫度	5℃-45℃
等離子射頻器部分
名稱	射頻自動(dòng)匹配器
型號	VERG-500+VENA-500
匹配功率范圍	0-500W
工作頻率	13.56MHZ+0.005%
正常工作反射功率	＜3W
匹配時(shí)間	＜3S
傳輸效率	＞90%
匹配器電源	AC220V/50-60HZ
輸入連接器	N型
輸出連接器	UHF
控制模式	手動(dòng)/自動(dòng)
可設(shè)預(yù)置點(diǎn)數(shù)	7
匹配阻抗范圍	實(shí)部0-80Ω 虛部-j200-j200(可根據(jù)負(fù)載調(diào)節(jié)阻抗)
匹配器尺寸	340X230X130 MM
提供相關(guān)配件	氣路總成一套，真空泵一套、石英爐堵1對，高密封法蘭1對，石英管1根，密封圈2對，高溫手套1對，坩堝鉤1把，真空泵連接管件1套，拆卸法蘭六角扳手1把，保修卡說明書1份等
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