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                網(wǎng)站導(dǎo)航

                產(chǎn)品中心

                當前位置:首頁 > 產(chǎn)品展示 > CVD/PECVD設(shè)備 > PECVD系統(tǒng)
                觸屏PECVD
                觸屏PECVD

                觸屏PECVD

                型號:KJ-1200-S6010LC3-3Z

                簡要描述:

                KJ-1200-S6010LC3-3Z設(shè)備是由觸屏管式爐

                、三路混氣氣路系統(tǒng)
                、進口真空系統(tǒng)、300w等離子電源系統(tǒng)組成
                ,可用于石墨烯制備

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                產(chǎn)品介紹:cgb管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
                KJ-1200-S6010LC3-3Z設(shè)備是由觸屏管式爐
                、三路混氣氣路系統(tǒng)、進口真空系統(tǒng)
                、300w等離子電源系統(tǒng)組成
                ,可用于石墨烯制備。cgb管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
                 cgb管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
                主要特點:cgb管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
                    1
                、通過SE頻電源把石英真空室內(nèi)的氣體變?yōu)殡x子態(tài)
                cgb管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
                    2、PECVD比普通CVD進行化學(xué)氣相沉積所需的溫度更低
                cgb管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
                    3
                、可以通過SE頻電源的頻率來控制所沉積薄膜的應(yīng)力大小。cgb管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
                    4
                、PECVD比普通CVD進行化學(xué)氣相沉積速率高
                、均勻性好
                、一致性和穩(wěn)定性高。cgb管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
                    5
                、廣泛應(yīng)用于:各種薄膜的生長
                cgb管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
                cgb管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                技術(shù)參數(shù):cgb管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                     型號cgb管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                KJ-1200-S6010LC3-3Zcgb管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                管式爐cgb管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                最高工作溫度cgb管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                1200℃ cgb管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                持續(xù)工作溫度cgb管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                ≤1100℃cgb管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                加熱速率cgb管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                最高20℃/min (建議10℃/min)cgb管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                加熱區(qū)長度cgb管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                300mm 單溫區(qū)cgb管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                加熱元件cgb管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                含鉬電阻絲cgb管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                熱電偶cgb管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                K 型cgb管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                控溫精度cgb管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                ±1℃cgb管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                爐管尺寸cgb管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                爐管直徑Φ50Φ60

                Φ80都可用cgb管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                材質(zhì):  高純石英cgb管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                cgb管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                溫度控制器cgb管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                PLC觸屏控制cgb管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                真空法蘭cgb管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                真空法蘭采用304不銹鋼制作cgb管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                · 左端法蘭上安裝不銹鋼針閥和一個球閥

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                · 右端法蘭設(shè)計為KF25接口,配有擋板閥和兩個KF25卡箍cgb管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                注:法蘭可選結(jié)構(gòu)

                ,標準螺絲法蘭
                ,快接
                KF法蘭,鉸鏈法蘭cgb管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                 cgb管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                輸入電源cgb管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                 cgb管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                單相 220V, 50 Hz  功率:3KWcgb管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                真空泵系統(tǒng)cgb管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                進口真空泵cgb管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                 cgb管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                采用進口真空泵

                ,真空度達 1.5 x 10-3 Torr 2.KF25快接
                ,不銹鋼波紋管,手動擋板閥與法蘭
                ,真空泵相連
                cgb管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                進口數(shù)字式真空顯示計,其測量范圍為5×10-5- 1500mbar

                ,測量精度可達0.1
                ,測量不同氣體種類不需要系數(shù)轉(zhuǎn)換
                cgb管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                   cgb管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                等離子體射頻電源cgb管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                (圖片僅供參考)cgb管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                功率范圍cgb管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                0-300W(連續(xù)可調(diào))cgb管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                工作頻率cgb管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                13.56MHZ+0.005%cgb管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                工作模式cgb管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                連續(xù)輸出cgb管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                供電電源/頻率cgb管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                單相交流 (187V-253V)50-60HZcgb管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                射頻輸出接口cgb管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                UHF malecgb管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                功率穩(wěn)定度cgb管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                ≤2Wcgb管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                最大反射功率cgb管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                <2Wcgb管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                諧波分量cgb管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                ≤-50 (dBc)cgb管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                電源保護設(shè)置cgb管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                DC過流保護,功放過溫保護

                ,反射功率保護cgb管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                冷卻方式cgb管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                強制風(fēng)冷cgb管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                 cgb管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                等離子電源功率可選cgb管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                200w/300w/500w/1000wcgb管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                觸屏質(zhì)量流量計cgb管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                 cgb管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

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                通道精密質(zhì)量流量計:液晶觸摸屏控制

                ,數(shù)字顯示,每路氣體控制均可在不同氣體中任意切換
                ,無須人工換算
                cgb管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                1.MFC 1-MFC3:0-500sccm可調(diào)cgb管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                2.3個不銹鋼針閥安裝在供氣系統(tǒng)的左側(cè),可手動控制3種氣體

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                3.進出氣口:31出cgb管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                4.連接方式:雙卡套連接cgb管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                注意事項cgb管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPacgb管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                · 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高

                ,所以向爐管內(nèi)通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥
                ,建議在本公司選購減壓閥
                ,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加準確安全cgb管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                · 當爐體溫度高于1000℃時,爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)

                ,爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當
                ,保持在常壓狀態(tài)cgb管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                · 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊cgb管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                · 石英管的長時間使用溫度<1100℃cgb管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                對于樣品加熱的實驗

                ,不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用
                。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa
                ,必須立刻打開泄氣閥
                ,以防意外發(fā)生(如爐管破裂,法蘭飛出等)cgb管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

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                質(zhì)保cgb管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

                一年質(zhì)保期相關(guān)耗材除外

                ,如加熱元件
                ,密封圈等易耗件cgb管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司

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