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滑軌CVD

型號：KJ-1200-S6014LK1-H

簡要描述：

KJ-1200-S6014LK1-H這款設(shè)備是專為生長石墨烯研制的石墨烯薄膜生長專用爐，也同樣適用于要求升降溫速度比較快的CVD實驗

，溫區(qū)可獨立程序控制

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詳細介紹

產(chǎn)品介紹：
KJ-1200-S6014LK1-H這款設(shè)備是專為生長石墨烯研制的石墨烯薄膜生長專用爐

，也同樣適用于要求升降溫速度比較快的CVD實驗，溫區(qū)可獨立程序控制

，設(shè)備操作時可將實驗需要的恒定高溫直接推到樣品處

，使樣品能得到一個快速的升溫速度，同樣也可將高溫的管式爐直接推離樣品處

，使樣品直接暴露在室溫環(huán)境下

，得到快速的降溫速率。

主要參數(shù)：

型號		KJ-1200-S6014LK1-H
滑軌管式爐	爐體結(jié)構(gòu)	滑軌式
	最高工作溫度	1200℃
	持續(xù)工作溫度	≤1100℃
	加熱速率	最高20℃/min （建議10℃/min）
	加熱區(qū)長度	300mm 單溫區(qū)
	加熱元件	含鉬電阻絲
	熱電偶	K 型
	控溫精度	±1℃
	爐管直徑	Φ50 ，Φ60 ，Φ80都可用
	爐管材質(zhì)	石英爐管
	溫度控制器	PID智能程序控溫
	真空法蘭	真空法蘭采用304不銹鋼制作左端法蘭上安裝由不銹鋼針閥和一個球閥。右端法蘭設(shè)計為KF25接口，配有擋板閥和兩個KF25卡箍注：法蘭可選結(jié)構(gòu) ，標準螺絲法蘭，快接KF法蘭，鉸鏈法蘭
	輸入電源	單相 220V, 50 Hz 功率：3KW
真空泵系統(tǒng)	旋片真空泵帶數(shù)字真空計（包含KF25接口和可移動箱體）	極限真空度 10-3 Torr. 爐管內(nèi)真空度 10-2 Torr. 抽速: 4CFM (2L/S, 120L/min) 備注：用戶可根據(jù)真空度要求不同可選用旋片真泵、擴散泵組，分子泵組
質(zhì)量流量計	3路高精度質(zhì)量流量計: 量程：MF1-MF3量程范圍50-1000sccm可調(diào) 底部安裝有一個混氣罐，左側(cè)安裝有3個不銹鋼針閥，可手動控制3種氣體的流量。
注意事項	爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa · 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加準確安全 · 當爐體溫度高于1000℃時，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài) ，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當，保持在常壓狀態(tài) · 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM ，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊 · 石英管的長時間使用溫度＜1100℃ 對于樣品加熱的實驗，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù) ，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）
質(zhì)保	一年質(zhì)保期相關(guān)耗材除外，如加熱元件，密封圈等易耗件