1400℃鐘罩箱式爐
1700℃鐘罩箱式爐
低真空系統(tǒng)
高真空系統(tǒng)
多通道質(zhì)子流量計控制系統(tǒng)
混氣系統(tǒng)2路浮子
3路混氣系統(tǒng)
精密液體氣象發(fā)生器
1200℃坩堝爐
1400℃井式坩堝爐
1700℃井式坩堝爐
1200℃兩通道CVD管式爐
等離子體增強化學氣相沉積系統(tǒng)PECVD
立式PECVD系統(tǒng)
小型箱式氣氛爐-3.4L
小型箱式氣氛爐-8L
小型箱式氣氛爐-12L
箱式氣氛爐-27L
箱式氣氛爐-80L
箱式氣氛爐-3.4L
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