產(chǎn)品概述：
三路浮子氣路控制系統(tǒng)適用于控制一種到三種氣體的通入，結(jié)合科佳的管式爐
使用，它可以用于CVD系統(tǒng)及退火爐，用來研究氣體環(huán)境對材料的影響
。
VFC管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
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技術(shù)參數(shù)：
VFC管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
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產(chǎn)品名稱VFC管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
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3路浮子混氣系統(tǒng)VFC管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
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浮子流量計VFC管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
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三種不同量程的浮子流量計，控制精度4%VFC管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
A：10 - 100mL/minVFC管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
B：16 - 160mL/minVFC管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
C：25 - 250mL/minVFC管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
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機械壓力表（混氣罐）VFC管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
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-0.1-0.15 MpaVFC管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
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接頭和氣管VFC管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
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在混氣系統(tǒng)右側(cè)安裝三個氣體進口，可連接四氟管VFC管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
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真空針閥VFC管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
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采用304不銹鋼VFC管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
安裝在混氣系統(tǒng)的右側(cè)VFC管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
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可選VFC管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
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CVD或者PECVD 精密液體氣相發(fā)生器VFC管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
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質(zhì)保期VFC管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
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一年保修，終身技術(shù)支持。VFC管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
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特別提示：1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。VFC管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi) 。VFC管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
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