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CVD電爐適合處理哪些金屬
？

時間：2024-10-15 點擊次數(shù)：0

CVD電爐

，即化學氣相沉積（CVD）管式爐

，是一種在材料科學和工程領域中廣泛應用的熱處理設備

。它通過將氣體混合物輸送到爐中

，在高溫下使氣體分解

，產(chǎn)生的原子或分子沉積在固體襯底上

，從而制備出薄膜

、納米顆粒及其他新型材料

。下面就來看看CVD電爐適合處理哪些金屬吧

！

比較常用的低真空CVD電爐(點擊圖片查看產(chǎn)品詳情)

鎢（W）：鎢是一種高熔點、高硬度的金屬

，常用于高溫

、高真空和強腐蝕環(huán)境下的應用。CVD電爐可以用于沉積鎢薄膜

，以滿足特定領域的需求

。
鈦（Ti）：鈦具有良好的耐腐蝕性

、高強度和低密度等特點，在航空航天

、醫(yī)療等領域有廣泛應用

。CVD電爐可以沉積鈦薄膜或鈦氮化物（TiN）薄膜，用于提高材料的性能

。
鋁（Al）：鋁是一種輕質

、耐腐蝕的金屬，常用于航空航天

、汽車和建筑等領域

。CVD電爐可以用于鋁薄膜的沉積，以滿足相關應用的需求

。
此外

，CVD電爐還可以用于沉積其他金屬薄膜，如銅（Cu）

、鎳（Ni）等

，具體取決于應用領域和所需材料的性能要求。

除了金屬薄膜的沉積外

，CVD電爐在半導體工業(yè)中還用于沉積絕緣層（如二氧化硅SiO?和氮化硅Si?N?）

、摻雜層（如磷硅玻璃PSG和硼硅玻璃BSG）、高k電介質材料（如鉿氧化物HfO?和鋯氧化物ZrO?）以及阻擋層（如鈦氮化物TiN和鉭氮化物TaN）等

。這些材料在半導體器件的制造中起到很重要的作用

。

大管徑真空CVD電爐(點擊圖片查看產(chǎn)品詳情)

總的來說，CVD電爐適合處理多種金屬

，包括鎢

、鈦、鋁等

，并可根據(jù)具體應用需求沉積不同類型的金屬薄膜

。同時，它還在半導體工業(yè)中具有廣泛的應用前景

。點擊了解更多CVD電爐

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