產(chǎn)品介紹:
KJ-TRTP1000-S110LK1W快速升溫RTP退火爐是一款真空度比較高的快速熱處理管式爐,配有石英腔體和真空法蘭,采用鹵素?zé)艏訜?div id="4qifd00" class="flower right">
,升溫速度可達50℃/秒,PID自動控制
,它是專
為半導(dǎo)體或太陽能電池基片的退火而設(shè)計 。屬于
RTP快速退火爐的一種。
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快速升溫RTP退火爐實拍圖vBa管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
技術(shù)參數(shù):
產(chǎn)品名稱 |
快速升溫RTP 退火爐 |
產(chǎn)品型號 |
KJ-TRTP1000-S110LK1W |
控 制 器 |
LED(升溫曲線時間設(shè)置是以“秒”為單位) |
爐 膛 |
開啟式 滑道式 |
爐管尺寸 |
OD110外徑 |
加熱區(qū) |
200mm |
供電電源 |
爐子:電壓: 380 V; 頻率: 50 hz; 三相;vBa管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司 真空泵:220V 50hz 歐標(biāo)插頭 |
功 率 |
24 kw |
加熱元件 |
鹵素?zé)?/span> |
升溫速率 |
0~50 C/S |
熱 電 偶 |
根據(jù)實際需要設(shè)計來配 |
溫度控制器 |
30段高精度數(shù)字可編程溫度控制器 |
特殊要求 |
發(fā)貨前視頻驗貨,收到貨后付款vBa管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司 1.爐膛是滑動式開啟式;vBa管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司 2.加熱元件是鹵素?zé)簦?span style="display:none">vBa管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司 3.石英管是一端開口,一端封閉;vBa管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司 4.法蘭上兩個進氣口和一個出氣口;vBa管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司 5.配數(shù)顯真空計;vBa管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司 6.法蘭上有一個擋板閥連接DRV10的真空泵,爐管真空度抽到冷態(tài)10Pa;vBa管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司 7.法蘭連接一個石英支架如下圖;vBa管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
vBa管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司 8.箱體上有一個簡單的氮氣浮子和氧氣浮子流量計,最大流速都是500ml/分鐘。 |
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