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石墨烯生長爐管內(nèi)的石英管清洗方法

時(shí)間：2020-06-15 點(diǎn)擊次數(shù)：143

　　石墨烯生長爐是一種特殊的CVD系統(tǒng)

，是專門為在金屬箔上生長薄膜而設(shè)計(jì)

，廣泛應(yīng)用在新一代能源關(guān)于柔性金屬箔電極方面的研究上

，特別適用于碳納米管

、碳納米線

、石墨烯的生長

。但使用過后石墨烯生長爐管內(nèi)的石英管該如何清洗呢

？下面介紹一種省錢省力又有效的清洗方法：
1

、將石墨烯生長爐的爐體升溫至600-900度

，并保持恒溫

，同時(shí)缶石墨烯生長爐內(nèi)的石英管內(nèi)通入氧氣，持續(xù)時(shí)間1-2小時(shí)

；
2

、待石墨烯生長爐的爐體內(nèi)溫度降至室溫，使用含有硝酸鐵的高嶺土擦拭石英管內(nèi)壁

，直至石英管內(nèi)壁上的附著物消失

；
3、移除石英管內(nèi)的高嶺土

，使用沾取酒精的無塵布擦拭石英管整個(gè)腔體

；
4、待石英管內(nèi)目檢無殘留物后

，向石英管內(nèi)通入氮?dú)獯祾摺?span style="display:none">4qU管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
本清洗方案是采用氧氣燃耗的方法

，除去碳物質(zhì)殘留，利用機(jī)械摩擦及化學(xué)試劑去除生長基底物質(zhì)殘留

，不需要采購專用的清洗機(jī)臺(tái)

，節(jié)省了不菲的設(shè)備購置費(fèi)

，不需要拆卸爐體內(nèi)石英管，節(jié)省了設(shè)備維護(hù)的時(shí)間

。