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RTP快速退火爐在使用過程中可能會(huì)遇到多種常見故障,這些故障及其解決方法可以歸納如下:54n管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
一、常見故障54n管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司 二、解決方法54n管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司 三、總結(jié)54n管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司 上一篇:流化床立式管式爐該怎么選 下一篇:科研用的pecvd該怎么選? 聯(lián)系方式
加熱不均勻或部分區(qū)域不加熱54n管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
原因:加熱元件長期工作
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實(shí)際溫度與設(shè)定溫度不符,出現(xiàn)較大偏差54n管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
原因:溫度傳感器故障、控制器故障
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爐膛出現(xiàn)裂縫54n管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
原因:爐膛材料在高溫下長期工作
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爐膛內(nèi)真空度無法達(dá)到要求54n管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
原因:真空系統(tǒng)密封不嚴(yán)、泵組性能下降或管道堵塞等。54n管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
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設(shè)備無法啟動(dòng)、顯示屏無顯示或顯示異常54n管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
原因:電源線路故障、控制器故障、顯示屏損壞等。54n管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
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比較常用的RTP快速退火爐(點(diǎn)擊圖片查看產(chǎn)品詳情)54n管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
加熱不均勻或部分區(qū)域不加熱54n管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
解決方法:使用熱像儀或紅外線測溫儀檢查加熱元件溫度是否均勻,如發(fā)現(xiàn)損壞,應(yīng)及時(shí)更換品質(zhì)合格的加熱元件。54n管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
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實(shí)際溫度與設(shè)定溫度不符54n管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
解決方法:檢查溫度傳感器是否正常工作,如有損壞及時(shí)更換;檢查控制器是否正常,如出現(xiàn)故障,根據(jù)具體情況進(jìn)行修理或更換;檢查爐體結(jié)構(gòu)是否完好
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爐膛出現(xiàn)裂縫54n管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
解決方法:爐膛開裂后
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爐膛內(nèi)真空度無法達(dá)到要求54n管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
解決方法:檢查真空系統(tǒng)密封性
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設(shè)備無法啟動(dòng)
解決方法:檢查電源線路是否連接正常,如有斷路或短路情況及時(shí)修復(fù)54n管式爐|真空爐|箱式爐|氣氛爐-鄭州科佳電爐有限公司
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RTP快速退火爐的故障多種多樣
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